1、洁净室检测垂直气流平均速度 ，垂直气流的平均风速是在距离内墙板100 mm和出口格栅板100 mm的区域内测量的。测量点以150 mm网格成行和列分布。如果去除测量边界后的净尺寸不等于15的整数倍，则允许校正测量点之间的距离。

2、水平气流平均风速，垂直气流的平均风速在距内墙板100 mm和距出风口扩散器前侧100 mm的区域内测量。测量点以150mm网格成行和列分布。如果去除测量边界后的净尺寸不等于15的整数倍，则允许校正测量点之间的距离。    　　

风速标准：平均风速性能参数：0.2-05m/s；不均匀性：≤ 20%!